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我公司产品主要成功项目

四探针测电阻率

文字:[大][中][小] 2021-6-4  浏览次数:7972

CGL型双管卧式管式炉

  ....CGL型双管卧式管式炉(单管、双管、卧式、立式、单温区、双温区、三温区)主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。主要用于电子陶瓷产品的预烧、烧结、渡膜、高温热解低温沉积(CVD)工艺等,设备的控制系统采用原装进口产品,具有安全可靠、操作简单、控温精度高(专家PID控制)、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可通气氛、抽真空等特点。

四探针

  ..设备用于测量硅片的薄层电阻和电阻率,也能测量其他半导体片、膜的薄层电阻和电阻率,且可对扩散、外延、离子注入等工艺设置进行监测和评估,该测试仪还可用于镀膜玻璃行业对金属膜层的薄膜电阻进行测量。

产品详细描述:


1. 采用工控机控制、基于WINDOWS98系统平台的测试程序,具有良好的人机界面。


2. 可以通过鼠标输入的方式选择测量项目、测量方式、测量方法等测试所需参数,操作简单,方便。


3. 根据需要对测量参数进行保存、打印,并可根据所选数据的结果绘制、打印直方图,以满足用户进行数据统计和数据管理等要求的需要。


4. 探头采用美国原装产品,测试稳定、可靠。


主要指标:

1、适用晶片尺寸:2


2、电阻率(Ω·cm):6E-3~5E4


3、测量精度:(1~100)Ω·cm ≤±3%,高阻、低阻≤±5%


4、薄层电阻(Ω/□):1E-1~9E5


5、测量精度:(1~1000)Ω/□ ≤±3%,高阻、低阻≤±5%


6、金属电阻(Ω):3E-2~2E5


7、测量精度:≤±3%
 

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